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彈性波裝置及復(fù)合濾波器裝置

921   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:14:36
提供一種彈性波裝置及復(fù)合濾波器裝置,能夠充分地抑制諧振頻率的2.2倍的頻率下的高階模式。本發(fā)明的彈性波裝置(1)具備面取向?yàn)?111)的硅基板(2)、氮化硅層(3)、氧化硅層(4)、鉭酸鋰層(5)、以及設(shè)置在鉭酸鋰層(5)上的IDT電極(6)。在將由IDT電極(6)的電極指間距規(guī)定的波長設(shè)為λ時(shí),氮化硅層(3)的厚度SiN[λ]、氧化硅層(4)的厚度SiO2[λ]、鉭酸鋰層(5)的厚度LT[λ]及鉭酸鋰層(5)的歐拉角中的LTθ[deg.]為通過式1導(dǎo)出的第一高階模式的相位成為?20[deg.]以下的范圍內(nèi)的厚度及角度。
聲明:
“彈性波裝置及復(fù)合濾波器裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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