本實用新型提供了一種內(nèi)嵌反射層的高功率容量體聲波諧振器,包括:叉指電極系統(tǒng)、薄膜;所述叉指電極系統(tǒng)包括:正電極、負電極;所述薄膜采用鈮酸
鋰薄膜;當鈮酸鋰薄膜的表面的叉指電極系統(tǒng)分別被加載正電極和負電極時,交互的相鄰電極之間產(chǎn)生的水平電場將在鈮酸鋰薄膜中激勵起剪切波諧振;該剪切波諧振為此諧振器的主諧振模,且諧振波長大約是鈮酸鋰薄膜厚度的兩倍。本實用新型通過采用采用叉指電極在鈮酸鋰薄膜上激發(fā)剪切波諧振,使得該諧振器的諧振頻率主要與薄膜厚度有關,從而可以很容易地實現(xiàn)高頻率諧振,解決了一般聲波諧振器很難產(chǎn)生高頻諧振的問題。
聲明:
“內(nèi)嵌反射層的高功率容量體聲波諧振器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)