在此提供硅微反應(yīng)器及其制備方法。該制備方法涉及在第一球磨條件下對(duì)微尺寸硅顆粒和第一OPC混合物進(jìn)行高能球磨以將微尺寸硅顆粒減小至納米結(jié)構(gòu)顆粒并形成Si+OPC團(tuán)簇，其中硅納米結(jié)構(gòu)顆粒通過OPC粘合在一起。在第二球磨條件下對(duì)Si+OPC團(tuán)簇和第二OPC混合物進(jìn)行高能球磨以形成球磨的Si+OPC混合物，其中Si+OPC團(tuán)簇被注入OPC顆粒中。在碳?xì)ば纬蓷l件下對(duì)球磨的Si+OPC混合物進(jìn)行處理以將OPC轉(zhuǎn)化為碳?xì)亩纬商細(xì)ぐ驳墓杓{米結(jié)構(gòu)顆粒。在化學(xué)刻蝕條件下對(duì)碳?xì)ぐ驳墓杓{米結(jié)構(gòu)顆粒的硅核進(jìn)行化學(xué)刻蝕以產(chǎn)生碳?xì)?nèi)設(shè)計(jì)空洞從而形成硅微反應(yīng)器。