本發(fā)明實施例公開了一種氧化亞硅復(fù)合材料及其制備方法、鋰離子電池，其制備方法包括以下步驟：向氣相沉積爐中通入保護(hù)性氣體，同時對氧化亞硅原材料進(jìn)行預(yù)加熱處理，以使部分氧化亞硅原材料發(fā)生歧化反應(yīng)；持續(xù)通入保護(hù)性氣體并通入碳源氣體，對預(yù)加熱處理后的氧化亞硅原材料進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，以在氧化亞硅的表面形成碳納米管。本發(fā)明實施例能夠通過原位自生生成的催化劑在氧化亞硅表面催化生長碳納米管，提高了氧化亞硅的導(dǎo)電性和首次庫倫效率，且制備過程簡單。