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無柵AlGaN/GaN場效應(yīng)晶體管傳感器及其制備方法

1035   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:28:53
本發(fā)明提出了一種無柵AlGaN/GaN場效應(yīng)晶體管傳感器,在AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)基片上蒸鍍有電極,還包括鈍化層,所述鈍化層覆蓋整個(gè)源端電極、源端電極PAD與漏端電極、漏端電極PAD,在覆蓋源端電極PAD與漏端電極PAD的鈍化層上刻蝕出窗口,深度至PAD顯露;還包括離子印跡聚合物層,所述離子印跡聚合物層位于AlGaN層上,含有印跡孔穴。還公開了無柵AlGaN/GaN場效應(yīng)晶體管傳感器的制備方法。本發(fā)明制備的導(dǎo)電高聚物納米復(fù)合材料具有單一離子識別的性能,可以提高器件的選擇性吸附、抗干擾能力;還具有快速響應(yīng)的特點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)高精度的定量檢測;通過NaCl溶液沖洗可以方便快捷的重復(fù)使用,具有使用方便、成本低、可用于水質(zhì)的在線監(jiān)測等特點(diǎn)。
聲明:
“無柵AlGaN/GaN場效應(yīng)晶體管傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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