本發(fā)明涉及一種高純、粒度均勻可控、表面鈍化的納米晶硅?氧化亞硅?碳復(fù)合粉體的制備方法。具體來講，本發(fā)明是以市售高純硅粉、二氧化硅粉為原料（純度：＞99.9%，粒度：50?800目），在真空或者氣氛保護(hù)下將硅粉和二氧化硅粉研磨至納米尺寸（1?100nm），然后將兩種粉體以一定比例混合后再進(jìn)行氣氛保護(hù)下高溫高能球磨，球磨過程中添加碳源對粉體進(jìn)行表面鈍化，即可得到一種高純、粒度可控、表面鈍化的納米晶硅?氧化亞硅?碳的復(fù)合粉體。本發(fā)明工藝簡單、成本低廉、可重復(fù)性好、而且所制備的硅基復(fù)合材料具有充放電次數(shù)多、膨脹率低等優(yōu)異性能，可廣泛應(yīng)用于光電子信息和納米技術(shù)領(lǐng)域。