本發(fā)明涉及化合物分解法,尤其是沉積炭及碳化 物的方法,其特征在于:導(dǎo)電層采用鎢絲、鉬絲和石墨層,通 過導(dǎo)電層調(diào)控物理場;將炭/炭
復(fù)合材料坯體置于化學(xué)氣相沉積 爐內(nèi),控制沉積溫度600~1100℃,以碳?xì)錃怏w為反應(yīng)氣體, 以Ar或N2為稀釋氣體,碳?xì)錃?體濃度5%至100%,反應(yīng)氣體流量0.2至 1.2m2/h·m2;采用本發(fā)明提高了炭/炭復(fù)合材料的致密速度,縮 短了制備周期,調(diào)控?zé)峤馓康慕Y(jié)構(gòu),致密、均勻性優(yōu)良,降低 了制備成本。
聲明:
“物理場作用下化學(xué)氣相沉積快速制備炭/炭復(fù)合材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)