一種石墨烯壓力傳感器，主要結(jié)構(gòu)由納米膜、互連電極、引線柱、基片、封裝外殼、陶瓷基座、密封環(huán)組成。檢測(cè)由納米膜、基片、互連電極組成，納米膜由上下兩層氮化硼與夾在其中的石墨烯組成，布置在基片下表面，基片上部刻蝕形成了凹形結(jié)構(gòu)，下部與陶瓷基座通過金屬鍵合形成無氧真空腔，隔絕了納米膜與外界的直接接觸，為其提供無氧防護(hù)，互連電極由互連凸點(diǎn)鍵合互連焊盤組成，通過引線柱將檢測(cè)單元與外部相連，氮化硼/石墨烯/氮化硼三層納米薄膜既是器件的功能材料，又是其結(jié)構(gòu)材料，器件最高可穩(wěn)定工作于1000℃的高溫環(huán)境，重復(fù)性好、可靠性高，耐酸堿、抗腐蝕，可應(yīng)用于動(dòng)態(tài)、靜態(tài)高溫測(cè)試環(huán)境，顯著提升高溫區(qū)間。