本發(fā)明公開了一種測試結(jié)構(gòu)失效分析方法,第一次是通過測試墊進(jìn)行電性測量縮小分析范圍,第二次是通過襯墊及VC分析進(jìn)一步縮小分析范圍,再將縮小范圍后的樣品去層處理到需要觀察的層次,就可以用VC觀測到測試結(jié)構(gòu)斷點位置。采用本發(fā)明能夠提高失效分析的成功率。
聲明:
“測試結(jié)構(gòu)失效分析方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)