本發(fā)明一種化學(xué)氣相沉積法玻璃車床料柜及使用方法，包括料柜框以及設(shè)置在料柜框內(nèi)的四氯化硅料瓶系統(tǒng)和各種氣體管道系統(tǒng)，還包括快速排氣閥、加熱盤、風(fēng)扇、固定架、柜溫?zé)犭娕?、管溫?zé)犭娕?、環(huán)狀加熱帶、溫控表、氣體探測(cè)器。采用夾層填充保溫棉結(jié)構(gòu)，具有優(yōu)良的保溫隔熱效果，柜內(nèi)設(shè)有恒溫溫控裝置，可使柜內(nèi)空氣、各進(jìn)料管路溫度和料瓶溫度保持恒定。內(nèi)柜體還設(shè)有危險(xiǎn)氣體報(bào)警系統(tǒng)，增加了內(nèi)柜體安全性。