本發(fā)明涉及一種用于感測(cè)待感測(cè)流體的多種特性的流體傳感器,包括音叉機(jī)械諧振器(3)。所述音叉機(jī)械諧振器(3)包括基部(11)和從所述基部(11)突出的至少一個(gè)齒(15A,15B),所述基部(11)和所述至少一個(gè)齒(15A,15B)由壓電材料形成,并且所述至少一個(gè)齒包括配置為暴露于流體的至少兩個(gè)電極(17A?B;19A?B)。所述壓電材料包括鉭酸鋰。
聲明:
“包括音叉機(jī)械諧振器的、感測(cè)流體特性的流體傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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