本發(fā)明公開了一種多層膜鋰離子電池負(fù)極，包括基材、硅基層和碳層，所述的硅基層和碳層交替疊加，所述的硅基層由硅、二氧化硅以及填充于他們之間的碳組成。本發(fā)明還公開了利用MPECVD制備本發(fā)明的方法，本發(fā)明的多層膜電極，電極層數(shù)和厚度可控，由于這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，電極具有良好的導(dǎo)電性和機(jī)械粘合力，因此允許電極通過增加層數(shù)提高活性物質(zhì)的載量，從而提高電極的能量密度。在本節(jié)中，12層的三明治結(jié)構(gòu)SiO2& Si/C膜電極獲得了良好的容量持有率，且在1/8C的電流密度下，其可逆容量達(dá)到0.46mAh/cm2的單位面積比容量。這種材料結(jié)構(gòu)策略還可以應(yīng)用到其他材料中去，相信同樣可以獲得優(yōu)異的性能。