本發(fā)明公開了一種基于相位檢測的單片集成光學加速度計。包括寬譜光源、模斑轉(zhuǎn)換器、光電探測器、單向隔離器、2:1型和1:2型Y波導、彈簧振子結(jié)構(gòu)、上中下電極、波導反射鏡、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅緩沖層、硅襯底、制冷片、磁力反饋模塊、封裝外殼；彈簧振子結(jié)構(gòu)位于1:2型Y波導的兩分支端之間，上電極和下電極位于1:2型Y波導兩分支外側(cè)，中電極位于彈簧振子結(jié)構(gòu)的質(zhì)量塊的上表面；光經(jīng)過模斑轉(zhuǎn)換器耦合進2:1型Y波導后經(jīng)單向隔離器進入1:2型Y波導實現(xiàn)分光，兩束光由波導反射鏡反射，耦合進入2:1型Y波導分支后直接耦合進入光電探測器中。本發(fā)明探測精度高，體積小，制作工藝簡單，具有高的可靠性和環(huán)境適應性。