本發(fā)明涉及化學(xué)分解法提純硅烷的方法，在反應(yīng)器中裝有反應(yīng)劑，粗硅烷通過反應(yīng)器入口加入、經(jīng)過與反應(yīng)劑反應(yīng)后，高純硅烷經(jīng)過采出口采出。反應(yīng)器為一個或多個串聯(lián)。多個串聯(lián)反應(yīng)器是由硅烷入口和出口通過管道與反應(yīng)器相連。反應(yīng)溫度控制在-100～100℃。反應(yīng)劑是能與硅烷的雜質(zhì)反應(yīng)生成高沸物而不與硅烷反應(yīng)的物質(zhì),優(yōu)選為無水乙醚、丙酮、甲醇、氫化鋰的四氫呋喃溶液或濃硫酸。每個反應(yīng)器中裝填單一的反應(yīng)劑，串聯(lián)的幾個反應(yīng)器中裝填同一種反應(yīng)劑或者不同反應(yīng)劑。本發(fā)明化學(xué)分解法分離提純硅烷操作工藝簡單，設(shè)備投資少，得到的硅烷純度高，采用化學(xué)分解法分離提純，提純后的硅烷純度達到6N及以上。