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正交融合結(jié)構(gòu)聲表面波一氧化碳氣體傳感器

1125   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:05:12
本發(fā)明公開了一種正交融合結(jié)構(gòu)聲表面波一氧化碳氣體傳感器,包括聲表面波器件和智能控制模塊,聲表面波器件與頻率測量裝置相連接,智能控制模塊通過數(shù)據(jù)采集處理單元分別與溫度傳感器、濕度傳感器、壓力傳感器、頻率測量裝置相連接,智能控制模塊分別與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)誤差補償單元、云通信模塊相連接;所述聲表面波器件包括YZ切鈮酸鋰的基底,基底上蒸鍍一層ZnO保護層,ZnO保護層上蒸鍍刻蝕有相互正交的兩條聲表面波延遲線,兩條聲表面波延遲線相交處設(shè)有一氧化碳敏感膜,一氧化碳敏感膜為摻雜有ZnO和An2O3的聚苯胺納米敏感材料。本發(fā)明可實現(xiàn)對一氧化碳氣體的常溫下敏感、高精度測量和智能誤差補償,實現(xiàn)了聲表面波一氧化碳氣體傳感器的云測試通信。
聲明:
“正交融合結(jié)構(gòu)聲表面波一氧化碳氣體傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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