一種基于LBO晶體的266nm全固態(tài)紫外激光器，包括用于對(duì)激光晶體的泵浦光源、光學(xué)耦合系統(tǒng)、1064nm諧振腔和腔外進(jìn)行倍頻、和頻光路。1064nm諧振腔包括反射鏡、分束鏡、平凹鏡、激光晶體、聲光調(diào)制器和OC反射透鏡；腔外倍頻、和頻光路包括第一LBO晶體，第二LBO晶體、第三LBO晶體、第一聚焦透鏡，第二聚焦透鏡、第三聚焦透鏡和布魯斯特角等腰棱鏡。本發(fā)明的三硼酸鋰266nm固體激光器通過(guò)諧振腔內(nèi)生成1064nm基頻光；利用LBO晶體進(jìn)行腔外倍頻以及和頻，再利用色散原理分離和頻產(chǎn)生的532nm、355nm和266nm激光，并輸出266nm激光，光學(xué)模式和光斑質(zhì)量較好。