一種在設(shè)備中制造電化學(xué)元件的方法，此方法可包含：提供電化學(xué)元件基板；在此基板之上沉積元件層；原位施加電磁輻射至元件層以實現(xiàn)元件層的表面重構(gòu)、再結(jié)晶及致密化中的一或更多者；重復(fù)此沉積及此施加直至達成所需元件層厚度為止。此外，施加可在沉積期間進行。一種薄膜電池可包含：基板；集電器，在此基板上；陰極層，在此集電器上；電解質(zhì)層，在此陰極層上；及鋰陽極層，在此電解質(zhì)層上；其中LLZO電解質(zhì)層具有結(jié)晶相，沒有歸因于LLZO電解質(zhì)層中的裂縫的短路，且在電解質(zhì)層與陰極層之間的介面處無高電阻夾層。