本發(fā)明公開了一種PPLN光波導(dǎo)制備方法,尤其是二維質(zhì)子交換MgO:PPLN脊波導(dǎo)的制備方法。所述制備方法拋光晶體端表面,切割晶體形成脊波導(dǎo),對(duì)脊波導(dǎo)和襯底鍍金屬保護(hù)膜后清洗掉脊波導(dǎo)表面的金屬保護(hù)膜后,對(duì)脊波導(dǎo)進(jìn)行二維質(zhì)子交換、退火處理進(jìn)而形成MgO:PPLN脊波導(dǎo)。本發(fā)明只需鈮酸鋰一種晶體材料,降低了器件的材料成本;且制備工藝簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、成本低廉,在激光變頻領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
聲明:
“二維質(zhì)子交換MgO:PPLN脊波導(dǎo)的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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