三維有序大孔硅或鍺薄膜的制備方法，涉及一種大孔薄膜的制備方法。是要解決現(xiàn)有的制備三維有序大孔硅或者鍺薄膜的方法所用設(shè)備復(fù)雜，成本高，所用原料有毒的問題。方法：一、將銅箔用鹽酸浸泡，無水乙醇擦拭，將銅箔固定在玻璃基片上，處理；二、使用三電極的電解池，用恒電勢法進(jìn)行電沉積硅或鍺；三、取出電解池中的電解液，干燥，滴加偶聯(lián)劑三乙基氯硅烷浸泡；四、拆卸電解池，滴加四氫呋喃，清洗，干燥，即得到三維有序大孔硅或鍺薄膜。本發(fā)明的方法無需復(fù)雜設(shè)備，操作簡便，室溫即可實(shí)現(xiàn)，能耗低。用于鋰離子電池的負(fù)極材料領(lǐng)域。