本發(fā)明涉及離子電池生產(chǎn)技術領域，公開了一種六氟磷酸鹽的清潔生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：步驟一、將五氯化磷與無水氫氟酸或者氟化氫氣體進行反應，并進行分離后分別得到五氟化磷氣體、氯化氫氣體和氟化氫氣體；步驟二、六氟磷酸鹽的制備：將所得純化后的五氟化磷與鋰源或鈉源反應制備得到六氟磷酸鹽；步驟三、將步驟一分離所得的氟化氫作為原料引入五氟化磷的制備步驟中回用。本發(fā)明首次提出了一種六氟磷酸鋰的全過程清潔生產(chǎn)工藝，將五氟化磷生產(chǎn)過程中得到的混合氣體進行分離，HF循環(huán)利用；還可以進一步將分離得到的氯化氫進行催化氧化后分離得到氯氣，用于五氯化磷和/或三氯化磷的生產(chǎn)工藝中，整個生產(chǎn)過程綠色環(huán)保，廢棄物排放少。