本申請涉及異質(zhì)集成器件制備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種縱向泄漏聲表面波諧振器及濾波器，縱向泄漏聲表面波諧振器包括支撐襯底、設(shè)置在支撐襯底上的壓電薄膜以及設(shè)置在壓電薄膜上的電極陣列。其中，支撐襯底可以為旋轉(zhuǎn)切型的碳化硅襯底，壓電薄膜的材料可以為鈮酸鋰或者鉭酸鋰。通過采用旋轉(zhuǎn)切型的碳化硅支撐襯底與壓電薄膜相結(jié)合的諧振器，可以在不改變襯底材料聲速的前提下，降低反諧振頻率附近的損耗，使得諧振器具有更為寬頻的極低損耗區(qū)，進(jìn)而可以實現(xiàn)更優(yōu)異的諧振器和濾波器性能。