本發(fā)明公開了一種ZnO薄膜材料、聲表面波濾波器復合薄膜材料及制備方法，ZnO薄膜材料是在該ZnO薄膜中摻雜有鋰和釩，構(gòu)成LixVyZn（1-x-y）O壓電薄膜。聲表面波濾波器用復合薄膜材料，從下到上依次由Si襯底、UNCD膜層、LixVyZn（1-x-y）O壓電薄膜層、IDT換能器Al/Ti薄膜層構(gòu)成，LixVyZn（1-x-y）O壓電薄膜層厚度為250?nm～600nm。本發(fā)明大大提高了ZnO薄膜電阻率及其壓電性，壓電薄膜的電阻率為108Ω.cm～109Ω.cm，從而降低了SAW器件插入損耗，插入損耗可降低6.1dB左右。提升了SAW壓電材料的聲速，從而提高了SAW器件工作頻率。