本發(fā)明公開(kāi)了一種由通式（1）表示的(酰胺氨基烷烴)金屬化合物和一種使用所述金屬化合物制備含該金屬的薄膜的方法。（所述式中，M代表金屬原子；R1代表具有1-6個(gè)碳原子的直鏈、支鏈或環(huán)狀的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自獨(dú)立地代表具有1-3個(gè)碳原子的直鏈或支鏈的烷基，或R2和R3可以與它們連接的氮原子一起形成一個(gè)經(jīng)取代的或未經(jīng)取代的5元或6元環(huán)。Z代表具有1-10個(gè)碳原子的直鏈或支鏈的亞烷基（但是，可選地，其一部分可形成環(huán)）。配位體的數(shù)目由n表示，n為1-3中的一個(gè)整數(shù)，并且等于金屬M(fèi)的化合價(jià)數(shù)。但是，排除M為L(zhǎng)i（鋰）、Be（鈹）、Ge（鍺）或Nd（釹）的情況，M為Mg（鎂）且R1為甲基的情況，M為Zn（鋅）且R1為甲基的情況，M為Bi（鉍）且R1為叔丁基的情況。此外，當(dāng)n為2或更大時(shí)，兩個(gè)或多個(gè)配位體可以彼此相同或不同）。