本發(fā)明涉及一種體聲波諧振器，其中所述諧振器的壓電層為單晶鈮酸鋰壓電層或單晶鉭酸鋰壓電層；且所述諧振器的機(jī)電耦合系數(shù)不小于9％。本發(fā)明還涉及一種體聲波諧振器的制造方法，諧振器的機(jī)電耦合系數(shù)不小于9％，該方法包括步驟：提供POI晶圓，所述POI晶圓包括襯底、單晶壓電層以及設(shè)置在單晶壓電層的第一側(cè)與襯底之間的絕緣層，所述壓電層為單晶鈮酸鋰壓電層或單晶鉭酸鋰壓電層；和移除襯底和至少一部分絕緣層，在移除襯底的過程中，所述絕緣層作為保護(hù)壓電層的阻擋層，所述至少一部分絕緣層被移除以露出所述壓電層，且所述壓電層的與諧振器的有效區(qū)域?qū)?yīng)的絕緣層被移除。本發(fā)明還涉及一種濾波器，和一種電子設(shè)備。