本發(fā)明實(shí)施例公開了提供了一種制備用于熱釋電探測(cè)器的鉭酸鋰晶片的方法,包括:將預(yù)定厚度的鉭酸鋰晶片置于浸泡溶液中進(jìn)行浸泡處理并清洗,然后到工裝上并將工裝固定到驅(qū)動(dòng)盤,對(duì)鉭酸鋰晶片進(jìn)行研磨和拋光處理。本發(fā)明實(shí)施例的方法工藝簡(jiǎn)單,設(shè)備投資少,周期較短,利于降低成本及大規(guī)模制備晶片。
聲明:
“制備用于熱釋電探測(cè)器的鉭酸鋰晶片的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)