本發(fā)明公開了氧化亞硅材料及其制備方法與其在鋰離子電池中的應(yīng)用。包括：將二氧化硅粉、硅粉、金屬粉、熔鹽混合；壓坯，在真空條件下，高能電子束轟擊坯料；將得到的氧化亞硅材料前驅(qū)體粉碎，碳包覆或/和導(dǎo)電聚合物包覆，得到碳包覆或/和導(dǎo)電聚合物包覆金屬還原的氧化亞硅材料。本發(fā)明通過高能電子束使二氧化硅和硅發(fā)生合金化反應(yīng)并且進(jìn)行金屬還原之后進(jìn)行碳包覆或/和導(dǎo)電聚合物包覆得到碳包覆或/和導(dǎo)電聚合物包覆金屬還原的高首效氧化亞硅材料，由于金屬還原生成相應(yīng)的氧化物和硅酸鹽，減少對(duì)后續(xù)鋰離子的消耗，從而提高了氧化亞硅材料的首次庫倫效率和循環(huán)穩(wěn)定性能，是鋰離子電池負(fù)極材料的優(yōu)良選擇。