本實(shí)用新型涉及電子級(jí)氟化鋰裝置尾氣處理裝置，包括第一風(fēng)機(jī)、一級(jí)降膜吸收器、二級(jí)降膜吸收器、接收罐、噴淋堿洗塔、堿液補(bǔ)充池、第二風(fēng)機(jī)、分子篩過(guò)濾器以及顆粒過(guò)濾器，氟尾氣通過(guò)所述第一風(fēng)機(jī)送入一級(jí)降膜吸收器，所述一級(jí)降膜吸收器的排氣管與二級(jí)降膜吸收器的進(jìn)氣管連通，所述一級(jí)降膜吸收器和二級(jí)降膜吸收器的底部排液管均通向接收罐，所述二級(jí)降膜吸收器的排氣管通向噴淋堿洗塔，本實(shí)用新型采用水吸收加堿洗塔噴淋的方法回收并凈化高純氟化鋰裝置尾氣；選擇降膜水吸收方法，提高尾氣脫氟率；同時(shí)水吸收得到的氫氟酸重新返回氟化鋰制備裝置中，充分回收利用氟資源；技術(shù)流程簡(jiǎn)單，吸收劑價(jià)廉易得，運(yùn)行成本低。