一種表面聲波(SAW)裝置(100)包括:硅襯底(108);由鈮酸鋰形成的壓電襯底(102);插置在所述硅襯底與所述壓電襯底之間的
氧化鋁層(110);所述壓電襯底上的至少一個(gè)電極(104、106)。被構(gòu)造成改變所述壓電襯底的充電中心的調(diào)諧電路(120)可以包括可調(diào)諧電阻器(124)和/或電壓源(122)。
聲明:
“通過鋰化和脫鋰的可調(diào)諧鈮酸鋰諧振器和濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)