本發(fā)明公開了一種氧化硅包覆碳納米管及其制備裝置、方法與應用，該制備裝置包括等離子體處理裝置及化學反應裝置，兩套裝置共用回旋樣品倉，該制備方法，包括如下步驟：首先，將碳納米管松裝入回旋樣品倉腔體并占據(jù)腔體體積1/3～2/3，組裝等離子體處理裝置，對碳納米管進行等離子體活化處理；然后，移除等離子發(fā)生器，更換爐頭，組裝化學反應裝置，對碳納米管進行表面包覆處理，正硅酸乙酯分解為無定形氧化硅，均勻沉積在碳納米管表面。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)氧化硅包覆碳納米管的工業(yè)化生產(chǎn)需求與應用，且所制備的氧化硅包覆碳納米管表面均勻包覆氧化硅層，能極好的解決碳納米管與氟硅橡膠的相親性問題以及碳納米管在復合材料中的分散問題。