本發(fā)明的實(shí)施方式提供具有成本效益的靜電吸盤組件,其能夠在超高真空環(huán)境中在寬溫度范圍內(nèi)操作,同時(shí)使靜電吸盤組件內(nèi)部的熱機(jī)械應(yīng)力最小化。在一實(shí)施方式中,該靜電吸盤組件包含一介電主體,其具有夾持電極,該夾持電極包含一金屬基質(zhì)
復(fù)合材料,該材料的熱膨脹系數(shù)(CTE)與該介電主體的CTE匹配。
聲明:
“靜電吸盤組件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)