本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體元件用散熱器件,其于包含含有40~70體積%的金剛石粒子且剩余部分是以鋁為主成分的金屬、厚度為0.4~6mm的板狀體的兩面,被覆由以鋁為主成分的金屬或鋁-陶瓷系
復(fù)合材料形成的被覆層而形成鋁-金剛石系復(fù)合體,在其至少兩主面,從主面?zhèn)纫佬蛐纬?1)膜厚0.1~1μm的非晶態(tài)的Ni合金層、(2)膜厚1~5μm的Ni層、及(3)膜厚0.05~4μm的Au層而成,此處,Ni合金層和Ni層的比率(Ni合金層厚/Ni層厚)為0.3以下。
聲明:
“半導(dǎo)體元件用散熱器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)