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變形鏡形變補償?shù)男Ub置及補償方法

1091   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 16:55:12
一種變形鏡形變補償?shù)男Ub置及補償方法,裝置包括變形鏡,變形鏡的下方粘結有透明復合材料薄膜,透明復合材料薄膜的外圈均勻連接有多個夾取裝置,夾取裝置外側通過調節(jié)旋鈕和鏡筒的上部連接,鏡筒的上部和下部通過緊固螺釘連接;調節(jié)旋鈕外側設有彈簧,夾取裝置的下表面與鏡筒的下部上表面接觸;透明復合材料薄膜下方的鏡筒設有頂柱,頂柱和微調旋鈕通過螺紋連接在鏡筒的下部;補償方法是先通過調節(jié)旋鈕拉伸彈簧,控制微調旋鈕使頂柱與透明復合材料薄膜的下表面接觸,然后使用激光干涉儀測量此時變形鏡的面形數(shù)據(jù),根據(jù)面形數(shù)據(jù),調節(jié)相應的調節(jié)旋鈕、微調旋鈕,再測量調節(jié)后的變形鏡的面形數(shù)據(jù),直至補償完成,本發(fā)明裝置結構簡單。
聲明:
“變形鏡形變補償?shù)男Ub置及補償方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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