本發(fā)明提供一種等離子體發(fā)生用電極。在與基板相對設(shè)置的、由金屬基底和導(dǎo)體板構(gòu)成的等離子體生成用電極中,沒有導(dǎo)體板損壞的危險(xiǎn),確保金屬基底和導(dǎo)體板的電導(dǎo)通和熱傳導(dǎo)在面內(nèi)均勻性好的接合狀態(tài)。該電極由如下材料構(gòu)成:使金屬例如硅含浸在由多孔陶瓷形成的母材例如碳化硅中,具備至少與基板的被處理面的整個面相對的接合面的金屬基復(fù)合材料;和通過金屬而熔融接合在該金屬基復(fù)合材料的接合面上的由耐等離子體性的材料形成的導(dǎo)體板例如CVD-碳化硅。在這種情況下,使金屬含浸在所述母材中時(shí),通過該金屬將導(dǎo)體板熔融接合在金屬基復(fù)合材料上。