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高織構(gòu)熱解碳薄膜的快速制備方法

977   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:47:18
本發(fā)明公開了一種高織構(gòu)熱解碳薄膜快速制備的方法,包括下述步驟:(1)將密度為1.85~1.90g/cm3的碳/碳復合材料靶材表面加工平整,清洗表面油漬備用;(2)將碳/碳復合材料靶材置平整的石墨板上,使激光束聚焦于碳/碳復合材料靶材表面,激光束與碳/碳復合材料靶材表面保持垂直;(3)采用大功率激光,快速加熱、氣化碳/碳復合材料靶材中的碳元素,形成氣態(tài)碳原子,并在溫度≥2000℃熱壁上著床、生長, 制備出高織構(gòu)熱解碳薄膜。本發(fā)明通過采用大功率激光促進高織構(gòu)熱解碳薄膜的生長,使熱解碳薄膜的生長速率達到25~30μm/s,比流態(tài)化床工藝的2×10-2μm/s提高3個數(shù)量級。
聲明:
“高織構(gòu)熱解碳薄膜的快速制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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