本發(fā)明公開了材料學(xué)領(lǐng)域的一種用于批量合成
復(fù)合材料的多元脈沖激光沉積系統(tǒng)和方法,包括使用幾束高能激光,聚焦并讓其蒸發(fā)不同的源材料靶材,產(chǎn)生不同的激光等離子束,然后不均勻的沉積源材料到基片上。本發(fā)明具有成本低,效率高,簡(jiǎn)單易用,協(xié)調(diào)性強(qiáng)等特點(diǎn)。本發(fā)明可用于新型材料研究中大批量的材料合成。
聲明:
“用于批量合成復(fù)合材料的多元脈沖激光沉積系統(tǒng)和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)