本發(fā)明涉及一種高介電常數(shù)的復(fù)合材料以及以該材料為介電層的有機(jī)薄膜晶體管的制備方法。通過溶膠?凝膠法，讓含端基的硅烷偶聯(lián)劑在催化劑作用下水解形成含功能端基的硅溶膠，再與有機(jī)聚合物交聯(lián)形成復(fù)合溶膠，作為有機(jī)薄膜晶體管介電層的材料。再用旋涂、浸涂、噴墨打印、3D打印等溶液法形成薄膜，經(jīng)固化后形成介電層；然后再分別制備半導(dǎo)體層、電極層，制得有機(jī)薄膜晶體管器件。本發(fā)明中基于復(fù)合介電材料的有機(jī)薄膜晶體管其遷移率達(dá)5cm²/V·s，遠(yuǎn)超以SiO₂為介電層的遷移率，并具有低閾值電壓，無遲滯效應(yīng)等特點(diǎn)。相對(duì)于SiO₂熱氧化等傳統(tǒng)制備工藝，該方法具有工藝簡(jiǎn)單、成本低、可大面積制備等優(yōu)點(diǎn)，具有很好的市場(chǎng)應(yīng)用價(jià)值。