本發(fā)明揭示了一種用于制備復(fù)合材料的可組裝靶材,其特征在于具有第一材料基底,基底上方具有多個凹槽,凹槽中填充有至少一種非第一材料。制造上述靶材的步驟如下:在第一材料基底靶材上形成槽結(jié)構(gòu),填充至少一種非第一材料的粉末或者熔液,經(jīng)燒結(jié)、冷卻和平坦化得到。在靶材部分消耗后,還可通過對靶材的消耗部分的修復(fù)實現(xiàn)靶材的重復(fù)充分利用,提高利用率。本發(fā)明可方便地制備復(fù)合材料薄膜,并且降低薄膜制備的成本,提升靶材的利用率。