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連續(xù)真空等離子蒸發(fā)金屬復合材料生產(chǎn)線

891   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 16:13:02
本發(fā)明涉及金屬鍍膜領域,尤其是一種連續(xù)真空等離子蒸發(fā)金屬復合材料生產(chǎn)線,具有真空室,真空室包括入口段、工藝段和出口段,工藝段依次包括進口鎖段、加熱預抽段、反濺射去污段、離子束活化段、等離子體復合段和出口鎖段,進口鎖段設置有進口真空鎖,加熱預抽段設置有加熱系統(tǒng)和排氣系統(tǒng),反濺射去污段設置有反濺射去污系統(tǒng),離子束活化段設置有離子束活化系統(tǒng),等離子體復合段設置有真空蒸發(fā)離子復合系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng),出口鎖段設置有出口真空鎖,真空蒸發(fā)離子復合系統(tǒng)設置有兩個蒸發(fā)復合室。本發(fā)明的優(yōu)點是降低了能耗,提高了復合的效率。
聲明:
“連續(xù)真空等離子蒸發(fā)金屬復合材料生產(chǎn)線” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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