高性能的環(huán)境友好型皮革化學品設備 717     

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本發(fā)明公開了一種高性能的環(huán)境友好型皮革化學品設備，包括車推架以及設置在所述車推架內的監(jiān)測腔，所述監(jiān)測腔底部內壁內自左而右依次相通設有廢劑排放管、排渣管和制革進液管，所述車推架內設有開口向左且與所述廢劑排放管相連通的廢劑傾倒腔，所述排渣管底部延伸末端貫穿所述車推架底部端面，所述車推架右端端面內設有開口向右且與所述制革進液管相連通的制革腔，所述車推架內設有位于所述監(jiān)測腔右端的第一導滑槽，所述第一導滑槽頂部內壁內相通設有第一空腔；本發(fā)明結構簡單，操作方便，便于收納，方便移動和搬運，同時，提高了皮革制備效率以及效果。

低溫下氧化鋅微納米線化學氣相沉積制備方法 1054     

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本發(fā)明公開了一種低溫下氧化鋅微納米線化學氣相沉積制備方法，先用超聲設備洗凈硅片或石英玻璃襯底，再將潔凈的襯底放入磁控濺射設備或者蒸鍍設備中，利用磁控濺射或熱蒸鍍的方法于襯底上制備一定厚度的微納米級鋅薄膜，將沉積有鋅薄膜的襯底硅放置于特有的水平管式爐的氣相沉積系統(tǒng)中，抽真空度達到15Pa以下的低真空態(tài)，按一定速率升溫加熱此系統(tǒng)到一定溫度，并向此系統(tǒng)通入氧氣和氬氣或氮氣不同氣氛比例條件下的熱處理，通過控制不同的熱處理溫度以及混合氣流速度得到不同形貌的氧化鋅納米線材料，本發(fā)明制備的氧化鋅納米線，微納米線質量好，制備工藝簡單、成本低，在氣體探測器、光伏電池領域、催化材料及光電探測器等應用領域前景廣闊。

基于流量對沖與反向波的低噪音多頻超聲化學反應器 824     

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本發(fā)明公開了一種基于流量對沖與反向波的低噪音多頻超聲化學反應器，其結構包括反應罐、檢修門、接水口、控制器、定位框架、電機，反應罐底部通過扣合方式安裝于定位框架上端中部，定位框架頂部右端設有裝設控制器的凹槽，電機通過嵌入方式安裝于定位框架右上角。本發(fā)明當污水引入時通過對沖引導器產生流量對沖，避免出現(xiàn)沉淀，而后中樞管內的水流通過變向裝置帶動進行旋轉驅動，此時換能器在反應罐內呈環(huán)形轉動，并產生超聲波振動與反射筒進行反射，形成了正向波與反向波的對沖，在污水氧化反應的過程中增加了污染物的擴散處理，提高了分解效率，避免污染物吸附、沉淀。

高性能環(huán)境友好型皮革化學品設備 810     

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本發(fā)明公開了一種高性能環(huán)境友好型皮革化學品設備，包括車推架以及設置在所述車推架內的監(jiān)測腔，所述監(jiān)測腔底部內壁內自左而右依次相通設有廢劑排放管、排渣管和制革進液管，所述車推架內設有開口向左且與所述廢劑排放管相連通的廢劑傾倒腔，所述排渣管底部延伸末端貫穿所述車推架底部端面，所述車推架右端端面內設有開口向右且與所述制革進液管相連通的制革腔，所述車推架內設有位于所述監(jiān)測腔右端的第一導滑槽，所述第一導滑槽頂部內壁內相通設有第一空腔；本發(fā)明結構簡單，操作方便，便于收納，方便移動和搬運，同時，提高了皮革制備效率以及效果。

多工位化學實驗布料沖洗系統(tǒng) 966     

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本實用新型公開了一種多工位化學實驗布料沖洗系統(tǒng)，包括玻璃瓶，其由第一瓶體和第二瓶體，且玻璃瓶上設置有固定蓋，所述第一瓶體內壁上固定粘接有托盤，第一瓶體頂端套有固定蓋，且第一瓶體側壁開設有用于進水管穿入的孔槽，進水管與孔槽密封粘接，所述第二瓶體底端連通有排液管，且第二瓶體內壁上粘接有出水管，出水管通過連通管與托盤相連通，所述固定蓋底面向下延伸形成有用于放置布料的杯體，杯體以固定蓋軸心線呈環(huán)形分布，且杯體底面均勻的開設有第一通孔，其側壁均勻的開設有第二通孔。該多工位化學實驗布料沖洗系統(tǒng)在第一瓶體上設置有固定蓋，固定蓋上設置有多個杯體，這樣可以同時對多個布料進行測試，可以大大提高了工作效率。

化學品加熱輸送管道 1006     

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本實用新型公開了一種化學品加熱輸送管道，結構包括工作管道、高溫漆、密封圈、保護層、警報裝置、外殼體、渦輪支架、加熱層、隔熱層，所述工作管道為圓柱體且左右表面為圓形，所述工作管道外圍高溫漆與工作管道大小一致，所述工作管道后方渦輪支架設有?個且呈環(huán)形等距排列，所述渦輪支架表面為長方形，所述工作管道與高溫漆采用過盈配合方式活動連接，本實用新型的有益效果為設有警報裝置，通過電池盒連接電源啟動測溫器，然后再由測溫器進行測試溫度，接著將測試的溫度傳送至接收器，再由接收器連接顯示器進行配合使用，從而使人們可以在第一時間知道加熱的溫度已經到達限定，同時也減少了勞動力以及生產成本。

生物化學設備 852     

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本發(fā)明公開了一種生物化學設備，包括機體，所述機體內部左上端設置有一生物發(fā)酵槽，所述生物發(fā)酵槽內部設置有生物發(fā)酵腔，所述生物發(fā)酵腔的上端壁內固設有測溫器，所述生物發(fā)酵槽外壁水平均勻的固設有纏繞式溫度調節(jié)管，所述機體內部左側下端設置有一儲水腔，所述機體內部右側上端設置有一化學反應腔，所述機體的上端面固定連接有一密封箱，所述密封箱內部設置有一密封腔，所述機體上端面的左側設置有一可拆卸的儲氣腔。本發(fā)明工作中，在保證裝置安全使用的同時，實現(xiàn)了生物發(fā)酵反應與化學反應，發(fā)酵產生的二氧化碳氣體的化學反應達到制氧的作用，減少二氧化碳的排放，保證能源的再利用，有利于資源的持續(xù)發(fā)展，減少了環(huán)境污染。

化學纖維快速祛靜電裝置 881     

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本實用新型公開了一種化學纖維快速祛靜電裝置，包括兩排交錯設置的輥輪，所述輥輪傳送化纖布料，所述化纖布料上下兩側分別設有上蒸汽噴頭和下蒸汽噴頭，所述上蒸汽噴頭和下蒸汽噴頭接地，所述下蒸汽噴頭下方設有干燥器，所述干燥器右方設有卷筒，所述卷筒固定于底座頂部，所述底座上端還固定有斷線檢測器；本實用新型上蒸汽噴頭和下蒸汽噴頭接地，其噴射的蒸汽導通靜電與接地之間的回路，起到祛靜電的作用；干燥器內的循環(huán)風機將加熱后的熱風在第一殼體內循環(huán)，起到干燥噴蒸汽之后的布料；布料收完之后，上弧形板和下弧形板抵接，電源對電磁閥供電，電磁閥斷開對電熱絲的斷電，避免布料收卷完成之后繼續(xù)加熱，節(jié)約能源。

新型自帶除污裝置的電化學水處理設備 757     

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本實用新型公開了一種新型自帶除污裝置的電化學水處理設備，其結構包括排污口、排污閥、緩沖槽、固定板、進水口、進水閥、不銹鋼鋼板、鍍銅膜、缸體、刮刀片、旋轉鈕、筒狀陰極、旋轉軸、塑料阻滲圈、上蓋；所述排污口與排污閥相連接，所述進水口與進水閥相連接，所述旋轉鈕與筒狀網型陽極相連接，所述筒狀陰極與上蓋相連接，所述伸縮軸通過減速器與電動機相連接，所述密封圈固定于旋轉鈕正下方，所述COD傳感器與缸體相連接并且固定于出水口正下方，所述旋轉軸與塑料阻滲圈相連接，所述旋轉軸固定于缸體與緩沖槽中間縫隙處，所述出水口固定于缸體左上方,本實用新型結構簡單生產成本低，而且具備水質檢測功能，能夠進行除污漬作業(yè)。

基于優(yōu)化學習機的復雜可靠度的計算方法 881     

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本發(fā)明一種基于優(yōu)化學習機的復雜可靠度的計算方法，首先確定可靠度重要影響區(qū)域，然后在該區(qū)域內按照一定的策略，有目的性地選擇計算新樣本，以期最大限度減少極限狀態(tài)函數計算次數的同時，高效高精度循環(huán)重構極限狀態(tài)函數，最后，在該重構的近似極限狀態(tài)函數模型的基礎上利用重要抽樣方法快速進行模擬計算可靠度，最終實現(xiàn)較少次數地計算極限狀態(tài)函數，就能獲得高精度可靠度計算結果，克服了常規(guī)可靠度計算方法計算精度和計算效率難以兼顧的缺點，從而提高了本發(fā)明在工程可靠度分析中的實用性。

化學工程的取樣設備 750     

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本實用新型公開了一種化學工程的取樣設備，包括取樣臺，所述取樣臺的正面上端嵌接有顯示屏，且顯示屏下端電性連接有控制面板，所述取樣臺底端固定連接有防滑支腳，且取樣臺正面右下角卡接有電源插孔，所述取樣臺右側中部固定連接有夾具，且夾具右上端設置有取樣瓶，采用電力驅動控制整個樣品取樣過程，通過壓縮機壓縮機內空氣并使其內部氣囊壓縮，從而產生氣壓以使取樣頭具備吸力來進行高效的采集樣品工作，同時設備能通過設有的冷凝器對熱量高樣品進行冷卻，冷卻由冷凝器儲存樣品并通過表面氣孔以使樣品與冷氣進行熱交換完成，有效避免傳統(tǒng)冷卻方式易造成樣品性質變異而影響采樣分析結果。

基于深度強化學習的無人機中繼抗干擾方法 887     

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本發(fā)明提供一種基于深度強化學習的無人機中繼抗干擾方法，包括：步驟1、搭建無人機協(xié)作通信網絡，包括地面節(jié)點、源無人機、中繼無人機、智能干擾機和固定干擾機；步驟2、將觀察到的當前時隙的狀態(tài)作為目標Q神經網絡的輸入，分析后得到所有動作的Q值，根據ε?greedy策略來選擇當前時隙的動作，計算當前時隙下的誤比特率、信號干擾噪聲比、中斷率和效益，觀察下一個時隙的狀態(tài)，將經驗e存放到經驗池中，從經驗池中隨機抽取若干個經驗更新Q神經網絡參數θ；步驟3、依次對劃分的時隙執(zhí)行步驟2中的操作，并在每間隔固定時隙T更新一次目標Q網絡的參數采用本發(fā)明上述方法可降低通信系統(tǒng)的誤比特率和中斷率，提高抗干擾性能，降低源無人機的能耗。

自動調節(jié)桌面水平的化學實驗操作臺 937     

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本實用新型公開了一種自動調節(jié)桌面水平的化學實驗操作臺，包括桌面、桌腿、吸盤、微控制器模塊、傾角傳感器模塊、微型推桿電機、萬向輪和LED指示燈，所述傾角傳感器模塊至于桌面上方，微控制器模塊置于桌面的下方，所述吸盤設置為圓形和方形，所述微型推桿電機安裝在桌腿上端部，所述萬向輪安裝在桌腿下端部，傾角傳感器模塊會實時監(jiān)測和檢測桌面的位置情況，并將采集到的信息發(fā)送給微控制器模塊處理后控制位于桌腿上的微型推桿電機進行調整，LED指示燈開始閃爍，待桌面調整至水平后LED指示燈停止閃爍，可將實驗儀器利用大氣壓強吸附在吸盤上，以免因實驗人員誤碰到導致實驗儀器打碎摔壞，在增加實驗成本的同時會對實驗人員的安全造成威脅，且試驗儀器讀數精準。

新型化工專用的化學反應爐 682     

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本實用新型屬于化工技術領域且公開了一種新型化工專用的化學反應爐，包括支撐腿、底座、反應爐、壓力檢測器、反應觀看口、物料輸送管、右端開口、左端開口、拉開把手、開口互鎖器、鎖緊器、空氣流通口、介質輸管和背面合頁，所述支撐腿的上端設置有底座，所述底座的上端安裝著反應爐，所述反應爐一側設置有壓力檢測器，另一側設置有物料輸送管，本實用新型通過右端開口和左端開口將反應爐從上面拋開，可以調制反應爐內部的料物和零件，使得在維修、清潔或者是調整設備的時候都很方便，而且通過開口互鎖器和鎖緊器可以很好的密封住反應爐的上端，在反應爐內反應過程中可以隨時添加物料和介質，還有空氣的調整都很方便。

高通量簡易產氣化學反應裝置 715     

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本實用新型提供了一種高通量簡易產氣化學反應裝置。該技術方案采用離心管作為反應容器，在離心管的端蓋上直接承載注射器和排氣管，上端帶有吸取球的注射器可方便的進行加樣，而排氣管則能夠將反應產生的氣體直接導出。在此基礎上，本實用新型設置了支架和單向閥，可有效保證注射器和排氣管的穩(wěn)定，并避免沉降物經排氣管進入反應體系。本實用新型廣泛適用于各類小型產氣反應實驗，尤其適用于甜蜜素的高效液相法檢測，可平行處理數十個樣品，壓縮檢測時間，且方便容器清洗。

利用紫蘇提取物制備還原氧化石墨烯-納米金復合材料的方法及其在電化學傳感器中的應用 761     

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本發(fā)明屬于電化學及納米材料技術領域，利用紫蘇提取物作為還原劑制備還原氧化石墨烯?納米金復合材料，并將此復合納米材料修飾到電極表面，應用于電活性物質的高靈敏檢測。本發(fā)明首先制備紫蘇提取液，然后將氯金酸水溶液和氧化石墨烯分散液加入到獲得的紫蘇提取液中，將所得混合溶液在60℃加熱4小時，得到黑色懸浮液；將上述懸浮液冷卻后抽濾，即得到綠色合成的還原氧化石墨烯?納米金復合材料。本發(fā)明采取紫蘇提取液作為還原劑和穩(wěn)定劑，其來源豐富易得，還原性溫和、對環(huán)境沒有危害；將該復合材料修飾到電極上，可以應用于電活性物質的高靈敏檢測。

新型CIT自帶COD光化學污水處理設備 1077     

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本實用新型公開了一種新型CIT自帶COD光化學污水處理設備，其結構包括污水池、進水口、攪拌裝置、投藥口、硬質污水管、輸送泵、光化學反應池、PVC輸送管、紫外燈、加壓泵、第一反應裝置、QC精密過濾裝置、軟料纖維、微粒填料、第二反應裝置、支撐架、COD水質傳感器、出水口；所述進水口、投藥口固定于污水池正上方，所述攪拌裝置與污水池相連接，所述光化學反應池通過硬質污水管與輸送泵相連接，所述光化學反應池通過PVC輸送管與第一反應裝置相連接，所述紫外燈與第一反應裝置相連接，所述COD水質傳感器與第二反應裝置相連接，本實用新型結構簡單成本較低使用更加方便，而且具備水質檢測功能，使用壽命更加長久。

危險化學品存放設備 826     

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本實用新型公開了一種危險化學品存放設備，包括柜體，所述柜體的內腔后側右上角固定安裝有PLC控制器，所述柜體的內腔右側頂端固定安裝有氣體傳感器，且氣體傳感器與PLC控制器電性連接，所述柜體的頂端左側固定安裝有警報器，所述警報器與PLC控制器電性連接，所述柜體的內腔頂端中心位置設置有排風扇，且排風扇與PLC控制器電性連接，所述柜體的頂端與排風扇相對應位置設置有氣體排放機構。該危險化學品存放設備，當檢測到化學品發(fā)生泄漏后，可對工作人員發(fā)起警報，并對裝置內泄漏的氣體進行清除，可避免工作人員在開啟存放設備時吸入有害氣體，保證了工作人員的身體健康，降低了安全隱患。

化學化驗儀器 671     

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本實用新型涉及一種化學化驗儀器，包括檢測箱、豎直測試管、托座和導軌，所述檢測箱與豎直測試管之間安裝有藥劑盒和試劑盒，所述藥劑盒的左端安裝有存儲罐，所述藥劑盒通過卡座連接有防護板，所述試劑盒的右端安裝有側箱，所述試劑盒通過階梯螺柱（連接有透明隔板，所述透明隔板的右側安裝有滅菌箱，所述滅菌箱的右側安裝有冷藏箱和數顯盒。本實用新型通過設置豎直測試管、托座和導軌有助于檢測樣液測試及安裝移動測試部件并實現(xiàn)移動功能，通過設置藥劑盒、試劑盒、存儲罐和側箱有助于存儲試劑和藥劑并增加存儲量，通過設置卡座、防護板、階梯螺柱和透明隔板有助于安裝防護部件及部件防護并實現(xiàn)阻隔分區(qū)功能。

脫水有機化學反應的回流反應裝置 1105     

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本實用新型公開了一種脫水有機化學反應的回流反應裝置，其結構包括過濾罐、回流管、脫水反應罐、檢測裝置、支架、隔板、儲液管、藥液罐、輸液管、加熱管、排氣口、排氣管、運輸管、輸送管、儲液罐、機架、護欄，所述的過濾罐和回流管連接，所述的脫水反應罐上設有檢測裝置，所述的支架和隔板連接，所述的儲液管和藥液罐連接，所述的輸液管和加熱管連接；本實用新型具有過濾罐，能將水中的雜質過濾掉，避免影響到脫水反應的進行，會致使反應無法進行的問題，還具有檢測裝置，能對反應進行實時的檢測，工作人員可以根據檢測裝置的反應來進行調整，還具有加熱管，能對藥液進行加熱，使反應的速率能加快，還具有閉合板，能對過濾后的雜質進行清理。

電化學傳感器的制備方法 865     

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本發(fā)明公開了一種電化學傳感器的制備方法。本發(fā)明采用靜電紡絲的納米金(鉑)、磁性納米粒子等改性電極，并構建電化學傳感器。本發(fā)明PSA智能檢測系統(tǒng)長時間追蹤篩查對象PSA水平，幫助醫(yī)生更精確地評估該篩查對象患前列腺癌的風險，以避免假陽性的檢測結果，避免過度治療甚至錯誤治療。本發(fā)明具有敏感、特異、選擇性高的特點，在醫(yī)學臨床診斷領域具有重要應用前景。

新型高性能環(huán)境友好型皮革化學品設備 976     

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本發(fā)明公開了一種新型高性能環(huán)境友好型皮革化學品設備，包括車推架以及設置在所述車推架內的監(jiān)測腔，所述監(jiān)測腔底部內壁內自左而右依次相通設有廢劑排放管、排渣管和制革進液管，所述車推架內設有開口向左且與所述廢劑排放管相連通的廢劑傾倒腔，所述排渣管底部延伸末端貫穿所述車推架底部端面，所述車推架右端端面內設有開口向右且與所述制革進液管相連通的制革腔，所述車推架內設有位于所述監(jiān)測腔右端的第一導滑槽，所述第一導滑槽頂部內壁內相通設有第一空腔；本發(fā)明結構簡單，操作方便，便于收納，方便移動和搬運，同時，提高了皮革制備效率以及效果。

分析滴定管架 1092     

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一種化學分析用滴定管架,由座墊1、底座2、底桿3、定位鈕4、橫桿5、頂桿6、旋鈕螺絲7和管夾8等部分構成。本實用新型為固定方向、單旁滴定操作型,具有結構簡單、操作方便等特點。

化學原料制備測試器 1062     

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本實用新型涉及一種化學原料制備測試器，包括測試箱、滅菌箱和無菌放置柜，所述測試箱從上至下依次安裝有防護罩、照明燈盒、上操作平板、試管托板、限位框、下操作平板、廢料存儲盒和試劑盒，所述防護罩設在照明燈盒上，所述上操作平板設在照明燈盒和試管托板之間，所述下操作平板的正上方安裝有試管托板，所述限位框與廢料存儲盒的材質相同，所述廢料存儲盒的右側安裝有試劑盒。本實用新型通過設置照明燈盒、上操作平板、試管托板和限位框有助于安裝照明燈具、放置試管及限制試管的位置并增加操作區(qū)域，通過設置下操作平板、廢料存儲盒有助于廢料存儲及適應不同身高人群進行徒手操作部件。

陶瓷磚耐化學腐蝕測試用沖洗裝置 749     

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本實用新型公開了一種陶瓷磚耐化學腐蝕測試用沖洗裝置，沖洗箱的一側焊接有增壓水泵支撐板，且增壓水泵支撐板上固定有增壓水泵，增壓水泵的出水端通過設有的導水管連接有輸水管，輸水管的內側連接有若干噴水管，沖洗箱內傾斜固定有若干組陶瓷磚固定板，且陶瓷磚固定板的內側均開設有陶瓷磚固定槽和滑槽，相對的兩個陶瓷磚固定槽的底部均固定有彈簧，且彈簧的頂端固定有拉板，拉板的一側固定有毛刷板。有益效果：通過在沖洗箱內設置有多組傾斜的陶瓷磚固定板，并在陶瓷磚固定板上開設有陶瓷磚固定槽，用于將陶瓷磚快速，牢固的固定在沖洗箱內，利用設置的噴水管，用于對陶瓷磚表面進行大面積，均勻的噴水，便于沖掉化學腐蝕原料。

DSA陽極電化學性能測試裝置 809     

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本發(fā)明涉及一種DSA陽極電化學性能測試裝置，包括電解槽，所述電解槽上方設置有蓋體，電解槽內中間位置設置有將電解槽內容置空間分隔成陰極室和陽極室的隔離裝置，蓋體上穿設有伸入陽極室中的陽極導電桿以及伸入陰極室中的陰極導電桿，電解槽左側壁設有與陽極室相通的進水口，電解槽右側壁設有與陰極室相通的出水口，進水口高于出水口，所述陽極導電桿和陰極導電桿上分別沿豎向間隔設置有多個用以安裝電極的安裝孔。本發(fā)明DSA陽極電化學性能測試裝置設計合理，使用方便，靈活性好，可實現(xiàn)快速組裝，易于操作，適用范圍廣，還可以實現(xiàn)電解液的連續(xù)更換。

高中化學專用pH值測定裝置 922     

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本實用新型涉及一種pH值測定裝置，尤其涉及一種高中化學專用pH值測定裝置。本實用新型要解決的技術問題是提供一種檢測精確、操作簡單、能夠實現(xiàn)對水的回收利用的高中化學專用pH值測定裝置。為了解決上述技術問題，本實用新型提供了這樣一種高中化學專用pH值測定裝置，包括有頂板、水箱、稱量箱、出水管Ⅰ、電控閥Ⅰ、行程開關、導向板、導向孔、浮球、升降桿、壓塊、連桿、檢測箱、濾網、水泵、進水管、出水管Ⅱ、電控閥Ⅱ和警報燈；頂板底部左側設有水箱，頂板底部中間設有稱量箱，水箱與稱量箱之間連接有出水管Ⅰ，出水管Ⅰ上設有電控閥Ⅰ。本實用新型達到了檢測精確、操作簡單、能夠實現(xiàn)對水的回收利用的效果。

高化學需氧量廢水水質檢測儀用蠕動泵 700     

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本實用新型涉及一種高化學需氧量廢水水質檢測儀用蠕動泵。采用的技術方案是：包括后殼體、泵頭殼體、泵頭、軟管定位孔、控制按鈕、連接螺栓、電池、單片機、第一電機驅動、第二電機驅動、第一電機、軸承、充電口、電源線、導電滑片、導電觸頭。本實用新型通過調節(jié)轉盤上的螺旋導槽與滑塊的配合實現(xiàn)對三個擠壓輥到泵頭殼體的距離的調整，從而控制擠壓輥對軟管的擠壓程度來調節(jié)每次泵送時所泵送出的液體量，整體結構簡單，自動調節(jié)方式方便快捷，實現(xiàn)泵送量可控，省去了工作過程中換用不同泵送量的泵進行泵送的麻煩，同時，蠕動泵將電池供電和電源直接供電兩種方式相結合，擴大了蠕動泵的適用范圍，方便了水質檢測工作。

活性金屬磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學反應的檢測方法 1089     

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本發(fā)明公開了一種活性金屬磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學反應的檢測方法，通過磁控濺射法，在納米壓痕劃痕儀用的金剛石壓頭表面包覆一層厚度均勻可控的活性金屬磨粒殼層，通過與金剛石晶圓襯底的劃擦實驗來控制活性金屬磨粒與晶圓之間的界面作用關系，再通過掃描探針顯微拉曼光譜儀對金剛石晶圓襯底表面的相互作用區(qū)域進行化學成分檢測，從而明確活性金屬磨粒與晶圓襯底的界面摩擦化學反應機理，其操作簡單，在半導體晶圓襯底的高效超精密加工領域具有良好的應用前景。

活性金屬氧化物磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學反應的檢測方法 1084     

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本發(fā)明公開了一種活性金屬氧化物磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學反應的檢測方法，通過磁控濺射法，在納米壓痕劃痕儀用的金剛石壓頭表面包覆一層厚度均勻可控的活性金屬氧化物磨粒殼層，通過與金剛石晶圓襯底的劃擦實驗來控制活性金屬氧化物磨粒與晶圓之間的界面作用關系，再通過掃描探針顯微拉曼光譜儀對金剛石晶圓襯底表面的相互作用區(qū)域進行化學成分檢測，從而明確活性金屬氧化物磨粒與晶圓襯底的界面摩擦化學反應機理，其操作簡單，在半導體晶圓襯底的高效超精密加工領域具有良好的應用前景。