本發(fā)明公開了一種采用電化學(xué)方法評估PATP?Au?MTI/AAO異質(zhì)結(jié)膜的方法,包括以下步驟:(1)制備PATP?Au?MTI/AAO異質(zhì)結(jié)膜;(2)將PATP?Au?MTI/AAO異質(zhì)結(jié)膜安裝在雙電導(dǎo)池之間,進(jìn)行測試;(3)在紫外光下光照,得到光照后的對硝基苯硫酚修飾的納米通道,進(jìn)行測試;(4)將光照后的對硝基苯硫酚修飾的納米通道浸泡在NaBH4水溶液中,得到PATP?Au?MTI/AAO納米通道,進(jìn)行測試;(5)采用皮安計和一對Ag/AgCl電極進(jìn)行電化學(xué)性能測試,根據(jù)電流大小評估PATP?Au?MTI/AAO復(fù)合膜的光門控性能。本發(fā)明通過電化學(xué)方法對光門控調(diào)節(jié)離子運輸能力進(jìn)行測定,根據(jù)電流大小評估PATP?Au?MTI/AAO復(fù)合膜的光門控性能,采取自制雙電導(dǎo)池來安裝異質(zhì)結(jié)膜,能夠保持PATP?Au?MTI/AAO異質(zhì)結(jié)膜穩(wěn)定性,從而完成整個測試過程。
本實用新型記載了一種電化學(xué)傳感器電極,所述電化學(xué)傳感器電極包括:基板,所述基板的上表面設(shè)置有接觸反應(yīng)區(qū)和絕緣層區(qū),且該絕緣層區(qū)包圍所述接觸反應(yīng)區(qū);厚膜絕緣層,所述厚膜絕緣層覆蓋位于所述絕緣層區(qū)中所述基板的上表面,以與位于所述接觸反應(yīng)區(qū)中的基板構(gòu)成一凹槽集流結(jié)構(gòu);其中,位于所述接觸反應(yīng)區(qū)中基板的表面還設(shè)置有互不接觸的參比電極、工作電極和輔助電極。本實用新型公開的電化學(xué)傳感器電極結(jié)構(gòu),利用電極接觸反應(yīng)區(qū)外側(cè)具有一定高度的絕緣保護(hù)層,使電極的接觸反應(yīng)區(qū)形成碗型集流結(jié)構(gòu),克服了目前的平面型電極容易使微容量的被測溶液流失的缺陷,提高了此類電化學(xué)傳感器的測試精度,減少溶液污染。
一種化學(xué)洗消訓(xùn)練裝置,在其特有的實踐應(yīng)用背景技術(shù)的融合前提下,設(shè)置在廂型車上,包括方艙,方艙內(nèi)部空間分隔為機房、第一室和第二室,機房設(shè)置在臨近廂型車車頭一端,第二室設(shè)置在臨近廂型車車尾一端,第一室設(shè)置在中間;在機房內(nèi)安裝有發(fā)電機;在第一室內(nèi)設(shè)置有偵檢分類臺、偵檢控制臺、水箱、洗消水藥劑均混裝置、洗滌劑儲存箱、洗衣機、烘干機、泡沫機、冷水機和熱水機;在第二室內(nèi)設(shè)置有防護(hù)裝具沖洗臺、水帶沖洗臺、防護(hù)服衣架、戰(zhàn)斗服衣架和烘干發(fā)生器。采用本發(fā)明的化學(xué)洗消訓(xùn)練裝置,可大批量、快速地將防護(hù)裝具洗消干凈,并為訓(xùn)練洗消人員提供訓(xùn)練場所和訓(xùn)練條件。
本發(fā)明獲取電化學(xué)沉積產(chǎn)物力學(xué)性能的方法主要包括以下步驟:電化學(xué)沉積修復(fù)前,進(jìn)行混凝土結(jié)構(gòu)靜態(tài)力學(xué)參數(shù)計算;測量待修復(fù)混凝土結(jié)構(gòu)的縱向波速和剪切波速;經(jīng)過電化學(xué)沉積修復(fù)后,測量修復(fù)后混凝土結(jié)構(gòu)的縱向波速和剪切波速;進(jìn)行修復(fù)后混凝土結(jié)構(gòu)靜態(tài)力學(xué)參數(shù)計算。本發(fā)明能夠確保在不破壞沉積物原始狀態(tài)的情況下,對電化學(xué)沉積產(chǎn)物的力學(xué)性能進(jìn)行測量,且不破壞修復(fù)混凝土結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明涉及一種雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備,是非晶硅薄膜太陽能電池的規(guī)?;a(chǎn)中一種核心工藝設(shè)備,所述雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括真空鍍膜機。該真空鍍膜機設(shè)有兩個真空腔體,每個真空腔體設(shè)有一到多個電極盒,每個電極盒可放置多片玻璃,所述兩個真空腔體共用真空獲得/壓力測量系統(tǒng),工藝氣體/流量控制系統(tǒng),射頻電源/匹配器系統(tǒng),并通過中心控制系統(tǒng)在時間上控制兩真空腔體的化學(xué)氣相沉積為交替工作過程,該設(shè)備大幅度地提高了非晶硅薄膜太陽能電池量產(chǎn)過程中的設(shè)備可靠性,提高了該高質(zhì)量低速沉積工藝技術(shù)的產(chǎn)量,能夠有效降低生產(chǎn)成本。
本發(fā)明公開了一種化學(xué)機械研磨工藝的優(yōu)化方法,該方法包括:A、提供一實驗樣品,并按照當(dāng)前的化學(xué)機械研磨CMP工藝參數(shù)對實驗樣品進(jìn)行CMP工藝后,采用等離子體增強化學(xué)氣相沉積PE-CVD工藝在實驗樣品表面形成氮化硅SiN;B、采用離子束沉積工藝在SiN的表面形成金屬鎢,然后按照冠狀方向?qū)嶒灅悠愤M(jìn)行切割,并獲取實驗樣品的縱截面;C、采用透射電子顯微鏡TEM測量實驗樣品的縱截面中實驗樣品的參數(shù),如果實驗樣品的參數(shù)不滿足工藝標(biāo)準(zhǔn),則調(diào)整當(dāng)前的CMP工藝參數(shù),并執(zhí)行步驟A;如果實驗樣品的參數(shù)滿足工藝標(biāo)準(zhǔn),則結(jié)束流程。采用該方法能夠?qū)MP工藝進(jìn)行優(yōu)化。
本發(fā)明公開了一種船載電化學(xué)海砂除氯淡化系統(tǒng),將船只貨倉涂刷絕緣涂料后加裝陰陽電極改造成電化學(xué)除氯反應(yīng)池,將船只水倉加裝陰陽電極后改造成電化學(xué)水處理系統(tǒng),水倉與貨倉之間設(shè)置凈水裝置;在電化學(xué)除氯反應(yīng)池及電化學(xué)水處理系統(tǒng)中設(shè)置探測氯離子含量的氯離子傳感器;在電化學(xué)除氯反應(yīng)池及電化學(xué)水處理系統(tǒng)之間設(shè)置可啟閉的水通道,經(jīng)凈水裝置處理過的水注入除氯反應(yīng)池,形成水倉?反應(yīng)池循環(huán)系統(tǒng),使海砂直接在運輸船上完成除氯淡化。本發(fā)明將海砂從海上吸砂平臺裝船后在運輸過程中完成凈化,達(dá)到目的港即可卸下合格凈化海砂;工作效果好,操作方便。
本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積法制備棒球棒狀硫化亞銅納米線的方法,先將氧化亞銅和硫粉分別放置在化學(xué)氣相沉積裝置的高溫區(qū)和低溫區(qū)位置,將SiO2/Si基底疊放平放在銅源上方,封閉石英管中的兩端;在石英管中通入保護(hù)氣體5?10分鐘進(jìn)行排空,打開管式爐加熱開關(guān),同時將低溫區(qū)升溫至300℃,高溫區(qū)升溫至700?800℃,保溫10?20分鐘,關(guān)閉加熱,冷卻至室溫,即可在SiO2/Si基底上獲得尺寸均一的Cu2S納米線。本發(fā)明制備的棒球棒狀Cu2S納米線具有多級結(jié)構(gòu),Cu2S棒球棒狀由一球狀和較長錐柱狀的Cu2S納米線組成,制備出的納米線形貌均勻,可以應(yīng)用于光電探測器、鋰離子電池和光催化材料等領(lǐng)域。
本發(fā)明涉及化學(xué)化工基礎(chǔ)理論研究及基礎(chǔ)應(yīng)用領(lǐng)域,具體涉及一種化學(xué)實驗教具及一種硫酸脫水性的驗證實驗方法。該教具包括注射器、廣口瓶和試管,所述廣口瓶通過其瓶口塞有的雙孔塞的一個孔連通有U型玻璃管;所述試管穿越所述廣口瓶上雙孔塞的另一個孔插入所述廣口瓶內(nèi),所述試管瓶口塞有的雙孔塞中分別插有分液漏斗和一根玻璃導(dǎo)管,所述玻璃導(dǎo)管連接有至少一個洗氣檢氣裝置,所述注射器的針頭穿越所述試管上雙孔塞伸入所述試管內(nèi)。其優(yōu)點是:在封閉的實驗器皿中進(jìn)行,并對于最后的尾氣進(jìn)行洗氣,無有害氣體排出,符合綠色化學(xué)的理念;材料易得;實驗反應(yīng)物用量減少、可反復(fù)操作,而且可保證實驗成功率;可對于實驗反應(yīng)產(chǎn)物和熱效應(yīng)及時驗證。
本實用新型公開了一種排壓裝置,該排壓裝置包括壓力測量儀、閥控制器以及第一充氣閥,當(dāng)所述壓力測量儀測量的壓力過大時,所述閥控制器控制所述第一充氣閥打開,從而排出密閉容器內(nèi)的氣體或液體,降低密閉容器內(nèi)的壓力,避免其因壓力過大而爆炸;同時,本實用新型還提供一種帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲存裝置,該化學(xué)藥品儲存裝置包括所述排壓裝置,從而避免儲存的化學(xué)藥品分解產(chǎn)生氣體,導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)氣壓過大而造成化學(xué)罐爆炸,提高了化學(xué)藥品儲存裝置的安全性。
本發(fā)明涉及一種基于凝膠電化學(xué)加工冷卻管的肋化內(nèi)冷卻結(jié)構(gòu)冷卻管的制備方法。具體方法為:預(yù)處理,包括管道內(nèi)部的探傷,以及表面的清潔處理。對于惰性金屬在完成清洗處理之后,應(yīng)該進(jìn)行活化處理;加工階段,主要包括裝置平臺搭建與電化學(xué)加工階段,在加工過程中可以自助選擇手動加工與自動加工,提高加工效率;后處理階段,主要包括檢驗和后清洗,實驗采用純潔清水進(jìn)行清洗。本發(fā)明擬采用將包含NaNO3的凝膠電解質(zhì)制備成肋形狀,選擇性的包裹加工電極作為陰極,將加工件作為陽極,進(jìn)行電化學(xué)加工。特別適用于傳統(tǒng)管道內(nèi)壁的肋化內(nèi)冷卻結(jié)構(gòu)的加工,反應(yīng)區(qū)域有凝膠電解質(zhì)的接觸與否控制,不會對管道的其他結(jié)構(gòu)造成影響,實現(xiàn)管道內(nèi)壁的肋化冷卻結(jié)構(gòu)的制造,提高散射通道的冷卻性能。
本發(fā)明提供一種基于微區(qū)電化學(xué)系統(tǒng)的薄液膜下樣品腐蝕數(shù)據(jù)采集裝置及方法,所述裝置由微區(qū)電化學(xué)工作臺、微區(qū)樣品池、XYZ三維移動平臺、探針、工作電極、放大鏡、人機終端、萬用表組成。本發(fā)明主要特點是在微區(qū)系統(tǒng)下精準(zhǔn)實現(xiàn)薄液膜厚度的設(shè)定,并連續(xù)快速測量該薄液膜厚度下局部腐蝕電化學(xué)信息。本發(fā)明的有益效果在于:實驗裝置自動化程度高,實驗方法簡單,有效地將微區(qū)系統(tǒng)下薄液膜厚度的設(shè)定與腐蝕信息的監(jiān)測相結(jié)合,縮短測試時間,提高測試效率。本發(fā)明裝置自動化程度高,操作方便,設(shè)備反應(yīng)靈敏。
本發(fā)明采用常規(guī)方法將人參中的揮發(fā)油成分提取后,通過GC-MS分析方法應(yīng)用本發(fā)明建立的測試條件,將提取的揮發(fā)油成分的GC-MS圖譜作為矢量,通過計算機輔助相似性評價系統(tǒng)處理,計算出林下參或園參的相似度值,達(dá)到鑒別園參或林下參的目的。采用微量分析方法,能節(jié)約資源,有較大的經(jīng)濟效益和社會效益。本發(fā)明的方法也可用于人參粉的相關(guān)產(chǎn)品的鑒別。
一種化學(xué)機械研磨設(shè)備及方法,其中化學(xué)機械研磨設(shè)備包括:載片臺;研磨機構(gòu),包括能夠沿第二直線方向重復(fù)移動的研磨件,第一、二直線方向垂相互垂直;研磨液注入機構(gòu),用于向研磨件注入研磨液;研磨清洗機構(gòu),與研磨機構(gòu)沿第一直線方向相對設(shè)置;膜厚測量機構(gòu),用于測量清洗后的待研磨片厚度。在化學(xué)機械研磨過程中,對移動中的待研磨片邊研磨、邊清洗和邊測量。使用本設(shè)備,實時測量的研磨后的待研磨片厚度,控制研磨過程中待研磨片的研磨量,確保待研磨片研磨后的厚度為目標(biāo)厚度,提升產(chǎn)品合格率,減少廢片量產(chǎn)生,降低生產(chǎn)成本。
本發(fā)明公開了一種化學(xué)機械研磨過程中研磨墊的溫度控制系統(tǒng),其中,包括溫度探測器和空氣壓縮機溫控系統(tǒng),所述空氣壓縮機溫控系統(tǒng)包括空氣壓縮機和氣體管路,所述空氣壓縮機和所述氣體管路相互連接并形成閉合回路,所述氣體管路設(shè)在研磨墊和位于研磨墊下方的獨立平臺之間,還包括主控制器,所述溫度探測器、所述空氣壓縮機溫控系統(tǒng)分別與所述主控制器連接。本發(fā)明通過控制研磨墊的溫度使得晶圓在化學(xué)機械研磨制程中的溫度得到控制,使拋光液的化學(xué)特性比如選擇比、去除率等保持在最佳值,延長研磨墊的使用時間,提高晶圓的平坦性和穩(wěn)定性。
本發(fā)明公開了自發(fā)光材料的新應(yīng)用,用于在化學(xué)發(fā)光蛋白質(zhì)免疫印跡實驗中的X-射線膠片上顯示蛋白質(zhì)分子量標(biāo)準(zhǔn)。本發(fā)明還公開了一種含有自發(fā)光材料的組合物,包括自發(fā)光材料,連接劑和填充劑。以及一種改良了的可以在X-射線膠片上顯示蛋白質(zhì)分子量標(biāo)準(zhǔn)的化學(xué)發(fā)光Western?blot方法。通過在常規(guī)化學(xué)發(fā)光Western?blot操作過程中,X-ray光片曝光前用本發(fā)明試劑涂抹在預(yù)染蛋白質(zhì)分子量標(biāo)準(zhǔn)位置,曝光后就能在X-ray光片上得到清晰的蛋白質(zhì)分子量標(biāo)準(zhǔn)顯影帶,達(dá)到測量目的蛋白條帶的目的,有效的彌補了常規(guī)化學(xué)發(fā)光Western?blot的不足,大大改善了Western?blot技術(shù)。廣泛適用于科研實驗。所使用試劑制備方法,綠色環(huán)保、對人體無任何毒害作用。
一種基于工程建模的多種化學(xué)殺菌劑組合的優(yōu)化方法,包括如下步驟:A、選擇合適的農(nóng)業(yè)病原菌試驗體系,并確定兩種以上殺菌劑;B、分別測量每種殺菌劑對病原菌的抑制率關(guān)于劑量的響應(yīng)曲線;C、根據(jù)所得的響應(yīng)曲線建立數(shù)據(jù)驅(qū)動模型;D、基于數(shù)據(jù)驅(qū)動模型優(yōu)化出理想的殺菌劑組合。本發(fā)明通過建立病原菌對組合殺菌劑響應(yīng)的模型,僅需要非常少量的實驗次數(shù)就能找到最理想的殺菌劑組合,不但提高了抑制病原菌的效率,且相較于同效率的單個殺菌劑作用時的殺菌劑劑量減少,降低了化學(xué)殺菌劑使用對環(huán)境造成的危害,且由于采用多種殺菌劑聯(lián)合使用,可以大大降低化學(xué)殺菌劑使用一段時間以后產(chǎn)生的耐藥性。
一種質(zhì)子交換膜燃料電池中丙醇電化學(xué)合成方法,利用質(zhì)子交換膜燃料電池進(jìn)行丙烯醇電化學(xué)合成丙醇與電能共生,將質(zhì)子交換膜燃料電池接入測試系統(tǒng)并控制電池的溫度,陰極反應(yīng)物泵入前用氮氣對陰極室進(jìn)行預(yù)處理,然后對電池進(jìn)行初始極化,即在陽極通入氫氣后接通電路,使陰極室中殘余的氧氣充分反應(yīng)。反應(yīng)時,控制通入陽極室的氫氣流量和泵入陰極室的丙烯醇水溶液流量,通過調(diào)節(jié)可變電阻器控制反應(yīng)電流,在沒有負(fù)載的情況下反應(yīng)1-8小時,可得到不同純度的產(chǎn)品正丙醇。本發(fā)明的質(zhì)子交換膜燃料電池采用多孔氣體擴散三合一膜電極。本發(fā)明工藝過程簡單,污染小,能耗低,能在合成產(chǎn)品的同時產(chǎn)生電能,對于生產(chǎn)少量高品質(zhì)化學(xué)品,具有重要意義。
本發(fā)明公開了一種控制化學(xué)機械研磨時間的方法及系統(tǒng),該方法應(yīng)用在對化學(xué)機械研磨裝置中各個子系統(tǒng)的控制過程中,存儲各個子系統(tǒng)研磨當(dāng)前晶圓的研磨時間段值,該方法還包括:分別測量各個子系統(tǒng)研磨當(dāng)前晶圓的厚度,分別得到各個子系統(tǒng)研磨當(dāng)前晶圓的實際厚度值;分別采用研磨當(dāng)前晶圓的實際厚度值和設(shè)置的研磨當(dāng)前晶圓的目標(biāo)厚度值的比值計算各個子系統(tǒng)的Q因子值;將各個子系統(tǒng)的Q因子值的平均數(shù)作為Q’因子值;將Q’因子值和存儲的各個子系統(tǒng)研磨當(dāng)前晶圓的研磨時間段值之間的乘積分別作為各個子系統(tǒng)研磨下一晶圓的時間段值后,提供給各個子系統(tǒng)執(zhí)行。本發(fā)明提高了控制化學(xué)機械研磨時間的效率且比較簡單。
一種化學(xué)機械研磨工藝模型校準(zhǔn)驗證流程中薄膜厚度引入方法包括:溝槽刻蝕;測量晶片表面相距與晶片表面齊平的物理或化學(xué)可辨薄膜表面之間的距離,作為參考溝槽深度;將所測得的參考溝槽深度減去溝槽深度目標(biāo)值,由此得到參考溝槽底部與可辨薄膜表面的間距;沉積薄膜;測量沉積的薄膜的上表面相距與可辨薄膜表面之間的距離;將所測得的距離減去參考溝槽底部與可辨薄膜表面的間距,由此得到參考溝槽底部與沉積的薄膜的上表面的間距;對沉積的薄膜進(jìn)行化學(xué)機械研磨,以得到減薄薄膜;而且,測量減薄薄膜的上表面相距與可辨薄膜表面之間的距離;將所測得的距離減去參考溝槽底部與可辨薄膜表面的間距,由此得到參考溝槽底部與減薄薄膜的上表面的間距。
本發(fā)明提供一種用于化學(xué)機械研磨機臺的制造程序控制方法及其控制系統(tǒng),該方法包括:利用測量裝置獲取控片的邊緣研磨速率和中心研磨速率,并將所述控片的邊緣研磨速率和中心研磨速率傳輸至機臺自動化系統(tǒng);機臺自動化系統(tǒng)計算所述控片的邊緣研磨速率與中心研磨速率的差值,并將所述差值傳輸至菜單查找系統(tǒng);菜單查找系統(tǒng)根據(jù)差值查找出最佳制造程序,并將最佳制造程序傳輸至化學(xué)機械研磨機臺。本發(fā)明根據(jù)控片的邊緣研磨速率與中心研磨速率的差值選擇出最佳制造程序,化學(xué)機械研磨機臺可根據(jù)最佳制造程序進(jìn)行產(chǎn)品片的化學(xué)機械研磨工藝,提高了工藝穩(wěn)定性。
本發(fā)明屬于可穿戴傳感技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種電化學(xué)傳感織物及其制備方法。本發(fā)明該電化學(xué)傳感織物由纖維傳感器編織而成,并且還有銀/氯化銀纖維參比電極編織其中;所述纖維傳感器包括葡萄糖纖維傳感器、鈉離子纖維傳感器、鉀離子纖維傳感器、pH纖維傳感器。該電化學(xué)傳感織物能夠監(jiān)測汗液中的葡萄糖、鈉離子、鉀離子、鈣離子及pH值。將該電化學(xué)傳感織物編織在服裝里,并連接無線傳感器,可構(gòu)建智能傳感服裝,可將其監(jiān)測到的汗液成份信息實時傳輸?shù)揭苿咏K端如智能手機,是實現(xiàn)可穿戴實時監(jiān)測的理想平臺,在可穿戴電子領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
本發(fā)明涉及一種基于鋰離子電容器電化學(xué)特征的SOC分區(qū)估計方法,包括以下步驟:獲取電容器OCV?SOC和混合動力脈沖特性測試數(shù)據(jù),建立電容器的等效電路模型并進(jìn)行參數(shù)辨識,獲取電容器的循環(huán)伏安測試和交流阻抗測試數(shù)據(jù),根據(jù)循環(huán)伏安測試和交流阻抗測試數(shù)據(jù)對電容器進(jìn)行電化學(xué)特征分區(qū),確認(rèn)每個電化學(xué)特征分區(qū)選用的SOC估計方法,實時獲取電容器的電壓和充放電電流并對電容器的SOC值進(jìn)行估計。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明本從鋰離子電容器電化學(xué)反應(yīng)機理出發(fā),將鋰離子電池的根據(jù)其性能表現(xiàn)劃分為不同電化學(xué)特征分區(qū),能夠針對鋰離子電池的各電壓區(qū)間應(yīng)用合適的SOC估計方法進(jìn)行估計,估計精度高、實時性好、適用性強。
本發(fā)明屬傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種單通道微流回音壁模式的生物化學(xué)傳感器。該生物化學(xué)傳感器由激發(fā)物鏡、微流通道、收集物鏡和收集光纖依次連接組成,根據(jù)不同濃度的生物化學(xué)樣品在微流通道中形成的散射譜包絡(luò)中心的位置不同,實現(xiàn)生物化學(xué)傳感器功能,具有結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸小,環(huán)境無敏感性較好,靈敏度高,探測極限低,制作工藝比較簡單以及成本低等優(yōu)點。本器件適合在生物化學(xué)領(lǐng)域做有極低探測極限的傳感器。
一種監(jiān)控電子顯微鏡化學(xué)油污污染的方法,包括:建立短流程工藝,短流程工藝至少包括依次執(zhí)行的金屬阻擋層生長步驟、金屬填充步驟以及金屬平坦化步驟;在電子顯微鏡進(jìn)行添加潤滑油之后,選用短流程硅片,對剛好執(zhí)行完金屬阻擋層生長步驟后的硅片進(jìn)行缺陷觀察動作;將被觀察的硅片按照所建立的短流程工藝流片到執(zhí)行完金屬平坦化步驟;在金屬平坦化步驟后對硅片進(jìn)行缺陷檢查以確定被觀察的硅片是否存在金屬損傷缺陷。如果被觀察的硅片不存在金屬損傷缺陷,確定不存在電子顯微鏡化學(xué)油污污染。如果被觀察的硅片不存在金屬損傷缺陷,確定不存在電子顯微鏡化學(xué)油污污染。本發(fā)明可監(jiān)控電子顯微鏡是否受到化學(xué)物污染,避免污染在線產(chǎn)品,為良率提供保障。
本發(fā)明提供一種電化學(xué)拋光金屬互連晶圓結(jié)構(gòu)的方法,包括:步驟一,電化學(xué)拋光晶圓產(chǎn)品中的部分晶圓,獲取拋光一合格晶圓所需的平均時間T0,步驟二,測量晶圓產(chǎn)品中任一晶圓O的厚度前置D0,并與前值目標(biāo)值D比對;步驟三,對晶圓O進(jìn)行電化學(xué)拋光;步驟四,清洗晶圓O;步驟五,測量晶圓O的厚度后值D1;步驟六,判斷晶圓O的厚度后值D1是否滿足后值目標(biāo)值D’的要求,將晶圓O返工或送入后續(xù)CMP模塊;其中,拋光晶圓O所需的時間T=T0+[(D0-D)/(K*RR)]*60,RR為拋光速率,K為常系數(shù),其中拋光速率RR隨著拋光晶圓產(chǎn)品的批次數(shù)的增加而變緩,常系數(shù)K由晶圓產(chǎn)品的形貌決定。本發(fā)明的方法易于實行且效果明顯,能夠大幅度提高拋光晶圓產(chǎn)品的良率。
本發(fā)明的一種鎂鋰合金多層化學(xué)鍍鎳處理方法,包括如下步驟:鍍前驗收→有機溶劑除油→化學(xué)除油→熱水洗→冷水洗→酸洗→回收→冷水洗→一次活化→冷水洗→退活化膜→冷水洗→二次活化→預(yù)鍍化學(xué)鍍鎳→回收→冷水洗→焦磷酸鹽鍍銅→回收→冷水洗→化學(xué)鍍鎳→回收→冷水洗→封閉→冷水洗→熱純水洗→吹干→熱處理老化→檢驗→包裝→入庫或轉(zhuǎn)下道工序,該方法采用獨創(chuàng)的酸洗配方以及兩次活化,提高了鍍層的結(jié)合力;采用分散能力好的焦磷酸鹽鍍銅,鍍銅層厚度均勻、孔隙率少,提高了鍍層的耐蝕性能;采用多層鍍層體系,保證了鍍層的結(jié)合力、鍍層的導(dǎo)電性能,同時大幅提高了產(chǎn)品的耐蝕性能。
本實用新型屬于光化學(xué)傳感器技術(shù)領(lǐng)域,主要為一種用于光化學(xué)傳感器的光電收發(fā)裝置。本實用新型的光電收發(fā)裝置包括:留有光電探測器大小圓孔的印刷電路板、帶濾光片的貼片光電探測器、貼片發(fā)光二極管、特種多孔光纖、光化學(xué)薄膜。印刷電路板正面圍繞圓孔一周放置發(fā)光二極管;背面正對圓孔放置帶有濾光片的光電探測器,可以通過圓孔探測光強。上述結(jié)構(gòu)可節(jié)約印刷電路板的面積,實現(xiàn)系統(tǒng)小型化;同時多孔光纖可同時收集多個發(fā)光二極管所發(fā)出的光,提高了光的利用率。本實用新型可用于探測被測環(huán)境中某些物理量大小、化學(xué)物質(zhì)的成分以及占比等。
本實用新型公開了一種化學(xué)品存儲裝置,包括底座和柜體,所述柜體的中部設(shè)置有隔層,所述隔層的一側(cè)邊中部設(shè)置有隔板,所述隔板與所述隔層將所述柜體內(nèi)部區(qū)分為兩小一大的三個化學(xué)品存放區(qū),且所述化學(xué)品存放區(qū)的底部均設(shè)置有放置板,所述化學(xué)品存放區(qū)的兩側(cè)邊均設(shè)置有耐腐蝕板,所述耐腐蝕板遠(yuǎn)離所述化學(xué)品存放區(qū)的一側(cè)均設(shè)置有防火板,且所述防火板與所述耐腐蝕板之間均設(shè)置有真空夾層,所述隔層的內(nèi)部設(shè)置有監(jiān)測器,所述隔層內(nèi)部且與所述化學(xué)品存放區(qū)相對應(yīng)的位置均設(shè)置有傳感器,所述隔層內(nèi)部且位于所述監(jiān)測器的上方設(shè)置有鎖緊器,所述隔層的外側(cè)設(shè)置有解鎖器與顯示面板,且所述解鎖器與所述鎖緊器連接,所述顯示面板與所述監(jiān)測器連接。
本發(fā)明公開了一種危險化學(xué)品禁忌智能識別和決策支持方法,包括了一個具備在線升級機制的危險化學(xué)品信息庫,可以根據(jù)聯(lián)合國最新的危險品資料進(jìn)行實時信息更新;包括了一個基于政府安全生產(chǎn)監(jiān)督管理的禁忌智能識別系統(tǒng),適用于政府監(jiān)督部門的執(zhí)法檢查和企業(yè)自檢;并根據(jù)實際需求,構(gòu)建了基于上述系統(tǒng)的應(yīng)用方法。通過提供一套具體方法,解決了危險化學(xué)品信息庫應(yīng)該如何應(yīng)用于安全生產(chǎn)監(jiān)督管理實踐的問題。該方法具有操作簡單、功能強大、使用性好的特點,同時國內(nèi)查新未見相關(guān)報導(dǎo),具有新穎性和先進(jìn)性的優(yōu)點。
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