本發(fā)明公開了一種化學(xué)機械研磨過程中研磨墊的溫度控制系統(tǒng)，其中，包括溫度探測器和空氣壓縮機溫控系統(tǒng)，所述空氣壓縮機溫控系統(tǒng)包括空氣壓縮機和氣體管路，所述空氣壓縮機和所述氣體管路相互連接并形成閉合回路，所述氣體管路設(shè)在研磨墊和位于研磨墊下方的獨立平臺之間，還包括主控制器，所述溫度探測器、所述空氣壓縮機溫控系統(tǒng)分別與所述主控制器連接。本發(fā)明通過控制研磨墊的溫度使得晶圓在化學(xué)機械研磨制程中的溫度得到控制，使拋光液的化學(xué)特性比如選擇比、去除率等保持在最佳值，延長研磨墊的使用時間，提高晶圓的平坦性和穩(wěn)定性。