本發(fā)明公開(kāi)了一種存儲(chǔ)器電路接觸孔層次失效點(diǎn)定位方法,是針對(duì)無(wú)微探針設(shè)備的機(jī)臺(tái)，先使用聚焦離子束進(jìn)行線路修復(fù)，將浮空狀態(tài)的電極短接至附近具有穩(wěn)定電位的節(jié)點(diǎn)，再進(jìn)行電壓襯度分析。本發(fā)明所述的方法，使用聚焦離子束將浮空的電極短接至附近穩(wěn)定電位節(jié)點(diǎn)，在電壓襯度進(jìn)行電子束轟擊時(shí)，浮空電極上積累的電荷能被及時(shí)導(dǎo)走，使浮空電極極始終保持穩(wěn)定的狀態(tài)，消除其對(duì)電壓襯度分析時(shí)的干擾。