本發(fā)明涉及一種激光掃描熱波成像方法，采用高功率激光束，由光束偏轉(zhuǎn)裝置控制對樣品的表面進(jìn)行快速掃描，實現(xiàn)脈沖熱激勵。利用脈沖激勵的快速降溫周期進(jìn)行移相熱波無損檢測，探測近樣品表面的缺陷。再利用激光重復(fù)掃描積累的熱能在退溫時的長周期進(jìn)行常規(guī)熱波無損檢測，探測樣品深部的缺陷。這樣通過在激光掃描熱激勵和去激勵過程采用不同的熱波檢測方法，實現(xiàn)對樣品從淺表層到內(nèi)部深層缺陷的同時探測。