本發(fā)明提出一種LED芯片無損陣列檢測裝置及方法，帶有第一導電板的第一基板、帶有第二導電板的第二基板、光信號檢測系統、電信號檢測系統和供電系統；所述第一導電層包括微電極陣列、行電極、列電極，以及用于分隔行、列電極的絕緣層；所述行電極與微電極陣列相連，所述列電極在水平方向上靠近但不接觸微電極陣列；所述第二基板用于承載待測LED芯片；所述微電極陣列用于對應第二基板上表面的LED芯片陣列；所述第一基板在垂直方向靠近但不接觸待測LED芯片。其每次只檢測一顆LED芯片，可以同時完成對單顆LED芯片的電信號和光信號的采集，避免了傳統LED芯片檢測過程中，探針對LED芯片的損害，有利于提高檢測芯片使用可靠性，延長LED芯片實際使用壽命。