本發(fā)明涉及一種聲表面波無損檢測系統(tǒng)，用以測量測試樣片的薄膜特性，包括波形發(fā)生器、多個聲表面波叉指換能器、壓電傳感器和計算機。由多個聲表面波叉指換能器構成可生成不同頻率聲表面波的聲表面波叉指換能器組，一個聲表面波叉指換能器包括一個叉指電極，用以在待測樣片上產(chǎn)生單頻聲表面波；壓電傳感器用以在待測樣片上拾取聲表面波的信號，通過對采集到的信號進行處理，從而獲得相應頻率下聲表面波的波速，更換可產(chǎn)生不同頻率的聲表面波叉指換能器，即可獲得該待測樣片的聲表面波頻散曲線，通過將實驗頻散曲線和理論頻散曲線進行匹配即可完成對薄膜特性的無損檢測。