本發(fā)明涉及一種釹摻雜二維層狀二硒化鉬薄膜材料的制備方法,包括以下步驟:首先通過高純?cè)香f、硒、釹的化學(xué)氣相輸運(yùn)反應(yīng),制得釹摻雜二硒化鉬的多晶體;接著通過壓制及燒結(jié),制得釹摻雜二硒化鉬的陶瓷靶;將陶瓷靶和清洗過的襯底置入真空腔,通過脈沖激光轟擊所制備的陶瓷靶,控制頻率、時(shí)間、功率等因素,獲得不同層數(shù)、形貌均勻、面積連續(xù)的超薄釹摻雜二硒化鉬薄膜光電材料。所制備的材料在近紅外區(qū)域具有發(fā)射光譜,可被用于構(gòu)筑原子級(jí)超薄的光電子器件,如電致發(fā)光器件、平板波導(dǎo)、探測(cè)器等。
聲明:
“生長(zhǎng)可控的稀土釹摻雜二硒化鉬薄膜材料制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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