一種微米粒徑有機(jī)無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備裝置，包括真空腔體、上熱臺、下熱臺、真空泵和電學(xué)測量裝置，真空腔體設(shè)有抽氣接口和接線接口，上熱臺和下熱臺相互平行設(shè)置于真空腔體下部并通過支撐板與真空腔體底部固定，真空泵利用抽氣接口通過真空管道及閥門與真空腔體連通，電學(xué)測量裝置利用接線接口通過導(dǎo)線與下熱臺上的ITO玻璃片上溝道的兩端連接；利用該裝置，采用低真空度下相互平行熱臺進(jìn)行的低壓化學(xué)氣相沉積法工藝制備有機(jī)無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜。本發(fā)明的優(yōu)點是：該制備方法提高了蒸氣分子流的向基板方向輸運(yùn)的均勻度，制備的薄膜均勻度高、粒徑大，進(jìn)程可控，提高了生成薄膜的光電性能，適合大規(guī)模及柔性薄膜的生產(chǎn)。