一種諧振式微懸臂梁自激振蕩自檢測傳感器,屬于微機(jī)電系統(tǒng)懸臂梁傳感器技術(shù)領(lǐng)域,其特征在于,含有一個(gè)由選頻網(wǎng)絡(luò)、濾波放大電路、相位補(bǔ)償電路及驅(qū)動電路依次串聯(lián)構(gòu)成的一閉環(huán)電路,該選頻網(wǎng)絡(luò)由含有壓電驅(qū)動結(jié)構(gòu)的微懸臂梁、補(bǔ)償電路、第一運(yùn)算放大電路、第一反饋電路和第二反饋電路構(gòu)成,該懸臂梁結(jié)構(gòu)的下電極與第一運(yùn)算放大電路的負(fù)輸入端相連,而上電極經(jīng)補(bǔ)償電路連接到第一運(yùn)算放大電路的正輸入端。微懸臂梁在壓電效應(yīng)作用下諧振,當(dāng)外部環(huán)境的物理量或化學(xué)量發(fā)生變化時(shí)其諧振頻率的偏移量經(jīng)反饋放大后由選頻網(wǎng)絡(luò)輸出。本發(fā)明把激勵(lì)結(jié)構(gòu)和檢測結(jié)構(gòu)合為一體,提高了穩(wěn)定性,成品率,并降低了成本。