本發(fā)明提供了一種檢測晶圓邊緣洗邊效果的裝置。所述裝置包括:用于放置晶圓的晶圓架;用于探測晶圓是否存在的光敏傳感器;用于分辨晶圓邊緣有無銅薄膜的顏色分辨光敏傳感器;用于判斷晶圓邊緣洗邊工藝是否成功并通知監(jiān)測人員檢測結(jié)果的可編程邏輯控制單元。本發(fā)明還提供了一種檢測晶圓邊緣洗邊效果的方法:光敏傳感器發(fā)出探測光探測晶圓架上有無晶圓;顏色分辨光敏傳感器發(fā)射分辨光分辨晶圓邊緣有無銅薄膜,并發(fā)送分辨信號;可編程邏輯控制單元接收并根據(jù)探測信號和分辨信號判斷晶圓邊緣洗邊是否成功,并報告判斷結(jié)果,從而避免了大量洗邊失敗的晶圓被送往后續(xù)的化學(xué)機(jī)械研磨工藝中,增加研磨難度。