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用于調(diào)節(jié)電極與原位電化學(xué)質(zhì)譜進樣口距離的控制裝置及控制方法

644   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:03:22
用于調(diào)節(jié)電極與原位電化學(xué)質(zhì)譜進樣口距離的控制裝置及控制方法,涉及一種控制工作電極與采樣窗口構(gòu)件距離的裝置。為了解決現(xiàn)有調(diào)節(jié)工作電極與采樣窗口構(gòu)件的距離的方法誤差大的問題。裝置包括:粗動調(diào)節(jié)機構(gòu)下方的頂端與微動調(diào)節(jié)機構(gòu)固定連接,微動調(diào)節(jié)機構(gòu)的下部頂端與工作電極固定連接,串聯(lián)的粗動調(diào)節(jié)機構(gòu)和微動調(diào)節(jié)機構(gòu)的雙控制調(diào)節(jié)方式調(diào)控工作電極上下移動。方法包括:步驟一:通過粗動調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)動距離,先使工作電極與質(zhì)譜進樣口之間距離控制在測微螺桿精度10微米之內(nèi);步驟二:驅(qū)動壓電陶瓷管,使工作電極與質(zhì)譜進樣口之間的距離控制在微米級別。通過上述雙控制調(diào)節(jié)方式,可以將調(diào)控距離誤差控制在微動調(diào)節(jié)機構(gòu)的誤差范圍之內(nèi)。
聲明:
“用于調(diào)節(jié)電極與原位電化學(xué)質(zhì)譜進樣口距離的控制裝置及控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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